希爾思熱式質量流量計是一種利用熱量傳遞原理測量微小流量的直接式質量流量儀表，即通過測量管中流動中的流體與測量管外的熱源之間熱量交換關系來計量流量。
熱式質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
希爾思熱式質量流量計用的最多的有兩類，一類式利用流動流體傳遞熱量，改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計；另一類是利用熱消散（冷卻）效應的金式定律熱式流量計。熱式質量流量計較多的是用于氣體的流量計量，而后逐步開發了基于熱分布原理的液體流量計量產品。因其測量原理不同于科氏質量流量計，使其具有幾點不同的特性：
（1）熱式質量流量計能夠測量極微小的流量，小至5g/h（遠高于化學藥劑注入系統對最小測量能力的需求），量程比20~50∶1。
（2）希爾思熱式質量流量計需要一定的啟動預熱時間（10~20min），并且對操作溫度有要求（通常在5℃~50℃之間），如果使用環境溫度過低還需要增加保溫伴熱措施。
更新時間：2022-03-21 
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